Почитайте, я не вдавался в подробности, но нашёл интересный момент про маску по типу фоторезиста, ну а по пользованию фоторезистом в интернете полно данных, так что думаю у вас всё получится, правда я про доступность самой маски ничего не искал.
Почитайте, я не вдавался в подробности, но нашёл интересный момент про маску по типу фоторезиста, ну а по пользованию фоторезистом в интернете полно данных, так что думаю у вас всё получится, правда я про доступность самой маски ничего не искал.